低溫等離子清洗機是一種高科技的清洗設備,主要用于清洗微電子器件、半導體器件、光電器件、精密儀器等高精度設備。它采用低溫等離子技術,能夠有效地去除器件表面的有機污染物、無機污染物和氧化物等,從而提高器件的可靠性和性能。以下是低溫等離子清洗機的使用方法:

1、準備工作
在使用之前,需要先進行準備工作。首先,需要將清洗室內的雜物清除干凈,以免影響清洗效果。其次,需要檢查清洗機的電源和氣源是否正常,并確認真空度是否達到要求。
2、放置待清洗物品
將待清洗的物品放置在清洗室內的樣品架上,并關閉清洗室的門。注意,待清洗物品的表面應干凈無油,否則會影響清洗效果。
3、開始清洗
將程序設置為所需的清洗參數,例如清洗時間、功率、氣體流量等。然后按下啟動按鈕,該設備開始工作。在清洗過程中,可以通過觀察清洗室內的等離子體顏色和清洗室的壓力變化來判斷清洗的進程。
4、停止清洗
當清洗時間到達設定值或清洗完成時,設備會自動停止工作。此時可以打開清洗室門,取出已清洗的物品。注意,取出物品后需要等待一段時間,讓物品表面的等離子體消失,以免對人體造成傷害。
5、維護
維護工作包括清洗室內部的清潔和更換易損件。清洗室內部需要定期清潔,以保證清洗效果和延長設備壽命。易損件包括清洗室內的電極和氣體流量計等,需要定期更換。
綜上所述,低溫等離子清洗機的使用方法包括準備工作、放置待清洗物品、開始清洗、停止清洗和維護等方面。只有正確使用和維護,才能保證清洗效果和延長設備壽命。