大氣等離子清洗機由等離子發生器、氣體輸送系統及等離子噴頭等部分組成。關于大氣等離子體基本特性機理主要有等離子體激勵電源、等離子體產生裝置、放電特征分析、等離子體參數診斷及調控、放電穩定性和均勻性等。
大氣等離子清洗機常見電極的結構分類：
一般等離子清洗機腔體設計為內置式平板式結構,有利于等離子體的均勻分布,并能通過改變擱板的位置和電極來靈活的改變工作區間的大小和等離子清洗的強度,來適應不同組件的清洗要求。
平板水平電極式等離子清洗機這是常見的電極結構。層與層之間的金屬電極面積相等，等離子體放電比較均勻，電極中間可以放托架，把需要處理的產品放置在托架上，層間距可以調整，電極上面可以打孔或加上水冷。除了薄膜、卷狀和粉體類的產品或材料不能處理，其它物品都可以。
平板垂直電極式等離子清洗機這種電極結構不是簡單把水平電極改為垂直就可以，層與層之間的金屬電極的間距，等離子體放電的均勻性，電極板的溫控，以及產品或材料的放置問題等，都是要充分考慮的。產品的擺放通常采用兩種方式：電極之間加上夾子或掛鉤來處理物品；在載物車上加夾子和掛鉤來處理物品，一般用于線路板處理。
大氣等離子清洗機電極的材質以及分布大小間距都對等離子清洗效果有一定的影響，在容性耦合等離子產生裝置下，電子密度與極板間距成正比例關系，平均電子溫度與極板間距成反比關系，其均勻性與極板間距成正比關系即隨著間距的增大均勻性變好，合理的電極設計能讓等離子清洗效果更好。
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